cvd设备前沿信息_cvd设备是什么意思(2024年12月实时热点)
HPHT与CVD:培育钻石的两种生产方法 培育钻石的生产方法主要有两种:HPHT(高温高压)和CVD(化学气象沉积)。这两种方法各有千秋。 首先,HPHT方法在中国有着独特的优势。中国研发的六面顶设备,基于雄厚的工业基础,目前只有少数几个国家能够生产。这种设备的铸造复杂程度高,需要经过几十道耗时耗力的加工工序,因此产能有限,一年只能生产2、3百台。经过近30年的积累,中国已经拥有超过一万台六面顶设备,这在全球范围内是独一无二的。 相比之下,国外大部分采用CVD方法来生产培育钻石。CVD设备的生产不需要大型工业基础设施,短时间内可以大量生产,因此国外新增产能主要是以CVD设备为主,一年新增多达2万台。这也正是HPHT培育钻石毛坯生产领域,国外一直无法撼动中国绝对霸主地位的主要原因。 无论是HPHT还是CVD生产的培育钻石,其本质都是钻石。作为饰品佩戴时,我们关注的仍然是4C标准这些核心质量指标。微磁性对于培育钻石的使用价值几乎没有影响。无论是中国生产的优质HPHT培育钻石,还是国外价高质次的CVD培育钻石,只有高标准高质量才能真正赢得新一代消费者的信任和订单。
【中微公司陈丹莹:PRISMO PDS8–用于SiC功率器件外延生长的CVD设备】近期,第十届国际第三代半导体论坛&第二十一届中国国际半导体照明论坛(IFWS&SSLCHINA2024)在苏州召开。期间,“碳化硅衬底、外延生长及其相关设备技术”分会上,中微半导体设备(上海)股份有限公司工艺主任工程师陈丹莹做了“PRISMO PDS8 – 用于SiC功率器件外延生长的CVD设备”的主题报告,分享了基于CFD模拟的SiC刀具设计优化、AMEC PRISMO PDS8 SiC外延工艺结果等内容。 IFWS&SSLCHINA2024网页链接
汇成真空:PVD新星✨ 在科技领域,汇成真空以其独特的PVD真空镀膜技术,成为了备受瞩目的新兴力量。 相比智信精密,汇成真空在稀缺性上更胜一筹,是PVD真空镀膜产业链中一颗璀璨的明珠。 在镀膜设备领域,CVD设备领域涌现了中微公司、拓荆科技等半导体设备巨头。 而汇成真空则专注于消费电子领域,与纳米薄膜材料股菲沃泰形成鲜明对比。菲沃泰以PECVD纳米薄膜技术著称,而汇成真空则在该领域展现出独特的优势。 尽管汇成真空在半导体应用领域的占比目前还较低,但这一现状为其在创业板上市提供了可能。 令人振奋的是,汇成真空的产品已经能够应用于光刻掩膜版、航空航天等高端工业领域,同时,新能源应用的比例也在逐步提升,预示着其广阔的发展前景。
西方对华半导体设备限制已经晚了!外媒说美国将实施新的出口限制措施,但是类似他们绞杀华为失败一样,绞杀中国半导体设备也一样会失败。 路透社9月17日引述英国《金融时报》报道,知情人士称,日本对于中国威胁会对日本企业采取报复措施感到担忧,但美日在限制对中国芯片行业的技术出口方面,接近达成协议的目标。 这主要是影响东京电子、佳能和尼康的出口。包括不少半导体测量工具、光刻机。特别东京电子的产品几乎覆盖了半导体制造流程中的所有工序,其主要产品包括:涂布/显像设备、热处理成膜设备、干法刻蚀设备、CVD、湿法清洗设备及测试设备;是中国重要的进口来源,日本对中国出口半导体设备也是他们各种产品出口增速最快的一个大类。 而之前荷兰比日本人跪得早。荷兰本月较早前公布,将扩大对荷兰计算机芯片设备供应商阿斯麦(ASML)1970i和1980i DUV(深紫外)浸没式光刻设备的出口许可要求,除了欧盟之外的地区都要许可证。使荷兰方面的规则与美国去年单方面对这些机器实施的出口限制保持一致。 而且荷兰还可能会停止对1970i和1980i DUV的售后服务,这完全是砸品牌。但是荷兰人却不得不跪,美国人对西方控制力达到恐怖的地区。 不过中国不是很怕美国人这个,因为中国这个行业起来了。 包括北方华创、中微公司、盛美上海、拓荆科技、中科飞测等16家国产设备大厂均披露了今年上半年财报,其中有6家企业营收同比增长超30%。营收前五为北方华创、晶盛机电、中微公司、盛美上海、至纯科技和长川科技;其中北方华创、晶盛机电半年营收都过百亿。特别龙头北方华创营收和利润都快速成长,进入全球6强。上半年全球十强已经有两个中国公司了。 在最重要的几类设备中,中国光刻机已经达到28nm自主可控水平。中国也已经突破双工平台和EUV光源,EUV光刻机突破指日可待。 在刻蚀机上,中微公司已经研制出全球首台5nm等离子体刻蚀机,并实现了3nm刻蚀机的量产。而且已经实现关键元器件国产化,在今年三季度已经实现自主可控。他们的MOCVD设备是目前国际最好水平, 第四代MOCVD设备正在准备进入市场。 在半导体注入设备方面,中电科已实现国产离子注入机28纳米工艺制程全覆盖,有力保障我国集成电路制造行业在成熟制程领域的产业安全。已经在28nm生产线商用多年。 而彭博社说长江存储已转向国内的半导体设备应商,如专门从事蚀刻设备的 中微公司(AMEC)、专注于沉积和蚀刻设备的北方华创(Naura)、沉积设备供应商拓荆科技(Piotech)。 据 TechInsights 称,虽然长江存储仍继续依赖 ASML 和 泛林集团(Lam Research)等外国供应商提供关键工具,但中国国产半导体设备供应商越来越多地承担了生产流程的大部分。 可以说,中国28nm这个水平就稳了,基本上可以保证90%以上的芯片安全,包括家电、汽车、工控、台式机、玩具、机床等的可用性。对于中国来说,现在就是快速建设生产线保证中低端芯片的安全性可供应,从而保证除了手机、平板、AI芯片等少数设备外自主可控。 而汽车业务唯一用到的7nm芯片,目前每年几千万个AI芯片和SOC,美国人真断了,华为是有能力顶上去的。 因此,美国人目前卡的点,其实已经卡不住,中国半导体产业链已经接近可以顶上了;判断在2027年前,实现5nm全流程自主可控是可能的。
半导体设备核心零部件:国产化的挑战与机遇 半导体设备在芯片制造中占据着举足轻重的地位,其投资占比超过总投资的70%。然而,高端设备的技术门槛和资本门槛都相当高,这使得核心零部件领域成为了招商引资的主战场。零部件企业的数量众多,技术水平参差不齐,产品应用场景也各不相同。随着技术的不断进步,这些企业逐步向先进制程设备或卡脖子领域拓展市场份额。 以薄膜沉积为例,这是芯片制造中的核心工艺环节。薄膜沉积技术通过各类化学反应源在外加能量的驱动下激活,形成原子、离子或活性反应基团,在衬底表面进行吸附并发生化学反应或聚结,最终形成几纳米至几微米不等的金属、介质或半导体材料薄膜。芯片的内部结构是3D立体形态,衬底上的微米或纳米级薄膜构成了制作电路的功能材料层。 以薄膜设备CVD为例,CVD的核心零部件包括射频系统及等离子体源、大气及真空传输系统、供气系统、陶瓷加工件、气体测量仪器、真空门阀、泵、供电系统、电力输送及通讯系统、加热盘A等。目前,国内工业技术在供气系统、陶瓷加工件、供电系统、电源和通讯系统等方面已经成熟,具有成本和产能优势。而大气及真空传输系统、真空阀门、加热盘A、气体测量仪器、泵等产品的国产化率较低,这些产品虽然看似不起眼,但实际上精密度极高,加工工艺难度极大,还需要材料的配合。 核心零部件市场仍然被美国、日本等国家垄断。国产化的突破不仅需要能够量产且稳定的半导体设备,还需要在核心零部件和材料上进行技术突破,这也是未来攻坚的重点。例如,想造光刻机,核心的光源、镜头等核心零部件买不到,即使研发成功,也难以在工业上应用。 因此,国产化的进程仍然任重道远,需要政府、企业和科研机构的共同努力。
单晶金刚石合成方法及其应用 单晶金刚石的人工合成主要有两种方法:高温高压法和CVD法。 高温高压法:这种方法合成的晶体质量较高,成本低,但杂质含量难以控制,且尺寸较小,主要用于外延衬底。 CVD法:20世纪80年代,CVD制备金刚石薄膜技术取得了突破性进展,引发了世界范围内金刚石CVD设备及生长技术的研究热潮。 在美国的"星球大战计划"、欧洲的"尤里卡计划"以及日本的金刚石制备技术中,CVD金刚石薄膜都被列为关键技术之一。 根据《中国集成电路与光电芯片2035发展战略》第218页的记载,CVD技术在金刚石制备中具有重要意义。
钻石类型大揭秘:天然与培育钻石全解析 天然钻石 形成过程: 在地球深处,大约150至250公里的地壳中,碳元素在极端高温(约1100Ⰳ)和高压(约5-6 GPa)下结晶,形成天然钻石。 特点: 稀有性:天然钻石的形成需要数百万年,因此非常稀有,价值连城。 独特性:每颗钻石都是大自然的杰作,独一无二。 情感和象征:在婚姻和爱情中,天然钻石象征着永恒和承诺。 局限性: 高昂价格:开采难度大,价格自然不菲。 道德问题:钻石开采可能对环境造成破坏,且存在血钻的伦理问题。 HPHT培育钻石 形成过程: 在专门设备中,通过将碳材料置于约1500Ⰳ的高温和超过5 GPa的高压环境中,模拟天然钻石的形成条件。使用金属催化剂(如镍或铁)加速碳晶体生长,几天至几周内即可形成培育钻石。 特点: 与天然钻石相似:HPHT钻石在硬度、结构等方面与天然钻石几乎无异,可以通过实验室设备检测其来源。 成本较低:生产过程简单可控,价格较低。 适合中小尺寸:通常用于生产中小尺寸的钻石。 局限性: 杂质问题:金属催化剂可能导致微量金属残留,影响净度。 颜色控制较难:可能带有黄色或棕色调,颜色不如CVD钻石纯净。 大尺寸生产受限:生产大颗粒钻石时,HPHT技术较难实现高品质和稳定性。 CVD培育钻石 形成过程: 在CVD设备中,将碳氢气体在真空室中分解,释放出碳原子,逐层沉积在基底上,逐渐形成钻石晶体。通过严格控制气体和温度条件,CVD技术可以在数周内生成高纯度的钻石。 特点: 高纯度、低杂质:不使用金属催化剂,内部杂质少,净度和透明度更高。 颜色控制优良:能够更好地控制钻石的颜色,使得钻石更接近无色或接近天然钻石的D色。 大尺寸钻石的生产优势:特别适合生产大尺寸高质量钻石,具有较好的可控性。 局限性: 生产周期较长:相比HPHT,CVD钻石的生长过程较慢,尤其是在大尺寸钻石生产上需要更长时间。 成本较高:由于CVD设备投入较大,尤其是大尺寸钻石的生产,导致成本比HPHT培育钻石稍高。 总结: 天然钻石自然是最稀有的,同样价格也是最昂贵的。而在性价比较高的培育钻石领域,CVD和HPHT都有各自的优势,就看您怎么选择了。
卡脖子环节之一——半导体设备产业链梳理,国产替代/自主可控刻不容缓 【北方华创】:北方华创致力于打造半导体设备平台型企业,布局了刻蚀/薄膜沉积/清洗/热处理四大领域,公司成功研发出HD⭐⭃⭖D、双大马士革CCP刻蚀机、立式炉ALD、高介电常数ALD等多款高端设备,并在多家客户端实现稳定量产,获得客户的一致好评。24Q3公司实现营收80.18亿元,同比增长30.12%,环比增长23.81%;归母净利润16.82亿元,同比增长55.02%,环比增长1.68%。 【中微公司】:中微公司是本土刻蚀设备龙头,并持续推进平台型设备公司建设,现已实现刻蚀设备全面覆盖,薄膜设备领域侧重于导体/半导体层的薄膜沉积设备,投资上海睿励布局检测设备。24Q3公司实现营收20.59亿元,同比增长35.96%,环比增长11.77%;其中,刻蚀设备收入达17.15亿元,同比增长49.41%,环比增长25.83%。归母净利润3.96亿元,同比增长152.63%,环比增长48.11%。公司预计2024年累计新增订单将达110-130亿元。 【拓荆科技】:拓荆科技PE⭃⭖D、ALD、SA⭃⭖D、HD⭐⭃⭖D、超高深宽比沟槽填充CVD等薄膜设备产品系列及混合键合设备产品系列均已在客户端实现产业化应用,量产规模逐步扩大,其设备性能和产能均达到国际领先水平。受益于持续高强度的研发投入,24Q3公司新产品及新工艺机台在客户端验证取得突破性进展,实现营收10.11亿元,同比增长44.67%,环比增长27.14%,创历史新高;归母净利润1.42亿元,同比减少2.91%,环比增长19.87%。 【盛美上海】:盛美上海坚持“技术差异化”和“产品平台化”的战略,成功布局七大板块产品,可覆盖市场约200亿美元;其中清洗设备已覆盖95%工艺步骤应用,电镀设备实现技术全覆盖。24Q3公司实现营收15.73亿元,同比增长37.96%,环比增长6.09%;归母净利润3.15亿元,同比增长35.09%,环比减少13.22%;公司预计2024年全年营收为56.00~58.80亿元。2024年10月,公司设备研发与制造中心正式落成投产,预计将实现百亿产能。 【中科飞测】:中科飞测专注于高端半导体质量控制领域,坚持九大系列设备及三大系列软件的产品布局,为半导体行业客户提供涵盖设备产品、智能软件产品和相关服务的全流程良率管理解决方案。九大系列设备面向全部种类集成电路客户需求,其中六大系列设备已在国内头部客户批量量产应用,技术指标全面满足国内主流客户工艺需求,市占率稳步快速增长;另三大系列设备均已完成样机研发,并出货客户开展产线工艺验证和应用开发。三大系列智能软件已全部应用在国内头部客户。24Q3公司实现营收3.49亿元,同比增长56.79%,环比增长52.70%;归母净利润0.16亿元,同比减少51.39%,环比增长115.77%。 东京电子CCP刻蚀(中微公司); ➡日立/东京电子的炉管(北方华创、盛美上海); ➡日立/东京电子的原子层沉积(微导纳米,拓荆科技); ➡东京电子的显影涂胶(芯源微); ➡东京精密的CMP(华海清科); ➡日立的电子束(精测电子); ➡泰镭光电的量检测(精测电子、中科飞测、赛腾股份); ➡迪恩士的清洗机(盛美、至纯科技,北方华创); ➡离子注入设备(芯源微)。 ➡沉积设备(北方华创、拓荆科技) 国内对标设备商有: 光刻机➡张江高科、奥普光电、茂来光学、福晶科技、波长光电、腾景科技等。 𘧾国半导体设备商应用材料、泛林半导体、科磊等; ➡国产对标公司有:精测电子、中微公司、北方华创、拓荆科技等。 ➡先进制程代工:【中芯国际】作为自主可控核心基座,在当前时代背景下理应成为科技自主可控的茅台 ➡光刻机产业链:【茂莱光学、福光股份、福晶科技、磁谷科技、阿为特】 ➡半导体设备:【北方华创、中微公司、拓荆科技、中科飞测、芯源微、华海清科】 ➡HBM产业链:【精智达、赛腾股份】 ➡先进封装:【长电科技、通富微电、甬矽电子、兴森科技、天承科技】
高纯PFA管在化学气相淀积(CVD)工艺中的用途 气体输送:由于PFA管的耐化学性和耐高温特性,它非常适合作为输送气体的管道,这些气体可能包括腐蚀性或在高温下反应的化学品。 反应室组件:在CVD设备的反应室内,高纯PFA管可用于构建或作为部件,如气体分配器,确保反应气体均匀分布。 化学输送系统:在半导体制造过程中,需要精确输送各种化学试剂和气体,高纯PFA管因其耐腐蚀和纯净度高的特性,成为理想的选择。 超纯液体处理:在CVD工艺中,超纯液体的输送对材料的纯度和性能至关重要。高纯PFA管提供了一个洁净、无污染的输送途径。#三氟莱#
景澜珠宝:培育钻石的创新之旅 景澜(北京)科技发展有限公司,一家专注于培育钻石在珠宝领域应用的公司,致力于为消费者提供独特且具有纪念意义的钻石产品。我们的总部设在北京,研发中心位于深圳,生产基地则坐落在江苏徐州。 景澜科技是中国碳材料科技领域的领先企业,由世界500强央企中国通用技术集团及徐州市泉山经济开发区共同投资,是一家高新技术企业。我们在CVD(气相沉积)法金刚石领域取得了多项发明专利,是中国唯一一家从CVD设备到生产工艺全自主正向研发的企业。 我们的核心产品——纪念钻石,是基于“毛发碳化生产金刚石”技术的应用转化,这项技术也是我们的发明专利之一。我们承诺: 使用顾客提供的毛发制作纪念钻石 确保纪念钻石的唯一性和专属性(多余钻石将进行分切处理,不进行销售) 生产的纪念钻石可经权威机构鉴定并开具钻石鉴定证书 我们支持顾客现场观看纪念钻石的制作过程(需签署保密协议)。特别声明: 纪念钻石是由毛发或其他身体组织提碳后作为碳源生产的钻石,与DNA无关 我们称之为纪念钻石,这一术语源于最早经营此项业务的英国公司 我们是中国唯一一家采用CVD技术制作纪念钻石的公司,而非高温高压法(高温高压法和CVD法理论上都可以制作纪念钻石) 景澜珠宝,以创新技术和独特设计,为消费者提供独一无二的钻石体验。
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